
二手设备买卖机租赁-美国诺信等离子清洗机Nordson AP-1000 | |
规格 外壳尺寸 W(宽)xD(长)xH(高)一占地面积 0.68米宽x 1.127米长x1.89米高 净重 485公斤(1069磅) 设备间隙 右边、左边一至少153毫米,前面一至少680毫米,后面一至少483毫米 处理腔体 较大容量 127升 多种电极配置 电源一接地,接地一电源,电源一电源 电极插槽数 14 电极间距 25.4毫米(600W)50.8毫米(1000W) 电极 电源电极面积 349毫米宽x 425毫米长 多孔接地电极面积 384毫米宽x 425毫米长 悬浮电极面积 349毫米宽x 425毫米长 射频功率 标配电源 600w 选配电源 1000w 频率 13.56MHZ 气体控制 流量计 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升/分钟 MFC较多可配置数 4 控制和接口 软件控制 PLC控制,配有触摸屏界面 远程接口 PlasmaLIKIK、ProcessLINK、SECS/GEM接口 真空泵 标配油泵 1500升/分钟,配有氧油除雾器 选配油泵 1500升/分钟,配育防锈油除雾器 选配干泵 1784升/分钟 干泵净化氮气用量 14升/分钟 干泵冷却水用量 5升/分钟 设施 电源 220伏,25安,50/60赫兹,3相,8 AWG,4线;380伏,25安,50/60赫兹,3相,8AWG,5线 工艺气体管径及接口 外径6.35毫米(0.25英寸)Swagelok管 工艺气体纯度 实验室或电子等级 工艺气体压力 较小0.069兆帕至较大0.103兆帕,可调节 净化气体管径及接口 外径6.35毫米(0.25英寸)Swagelok管 净化气体纯度 实验室或电子等级N2/CDA 净化气体压力 较小0.2兆帕至较大0.69兆帕,可调节 气动阀接口及管径 外径6.35毫米(0.25英寸)Swagelok管 压缩空气纯度 CDA、无油、露点温度≤7℃,粒径<5微米 压缩空气压力 较小0.345兆帕至较大0.689兆帕,可调节 排放 外径38毫米(1.5英寸)管道法兰 合规性 半导体 通过SEMI S2/S8【环境、健康和安全/人体工学)认证 * 通过CE认证 辅助设备 气体发生器 氮气、氢气(需要其他不可选硬件) 设施 冷却器、洗涤器 | |
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